单晶炉的危害有多大(单晶炉)

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1、单晶炉的构成　　提拉头：主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成 　　 副室：主要是副室筒以及上下法兰组成 　　 炉盖：副室连接法兰，翻板阀，观察窗 抽真空管道 组成 　　 炉筒：包括取光孔 　　 下炉筒：包括抽真空管道 　　 底座机架：全铸铁机架和底座 　　 坩埚下传动装置：主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成 　　 分水器已经水路布置：包括分水器。

2、进水水管，若干胶管 水管卡套等 　　 氩气管道布置：质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件 　　 真空泵已经真空除尘装置：油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等 　　 电源以及电控柜：电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线编辑本段单晶炉的定义　　单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

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